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크로스어레이 메모리 측정 시스템

크로스어레이 메모리 측정 시스템

크로스어레이 메모리 측정 시스템

크로스어레이 메모리 측정 시스템

[Introduction]
본 솔루션은 Keysight PZ2100A Precision Source/Measure Unit과 34980A Multifunction Switch Unit (Matrix Card)을 결합하여, Cross-Array 구조의 메모리 셀의 개별 셀 전기적 특성(IV 특성)을 자동으로 측정하는 솔루션입니다.

다수의 Row/Column 노드로 구성된 메모리 어레이 내에서 Matrix Switch를 통해 원하는 교차점(Cell)을 자동 선택하고, SMU의 정밀 Sweep 제어를 통해 IV Sweep, Set/Reset, Forming, Retention 등 다양한 테스트 시퀀스를 수행할 수 있습니다.

크로스어레이 메모리 측정 시스템

[System Configuration]
[ SMU ] Keysight PZ2100A : ±210 V, ±10 A 범위의 정밀 전류/전압 소스 & 측정 (IV Sweep, Pulse Bias 등)
[ Switch/Control Unit ] Keysight 34980A + Matrix Card (34932A) : Row/Column 선택, Cross-Array 자동 스위칭
[ Custom Cross-Array Jig ] Customize Jig (Probe Card) : Row/Column 핀 매핑, Shield 구조, Guard 설계
[ Control S/W ] A-VIEW : 채널 선택, Sweep 설정, 자동 시퀀스 실행 및 데이터 로깅

[Main Specific]
Cross-Array 자동 스위칭 측정
– Matrix Card를 통해 다중 메모리 셀 자동 선택
– 단일 SMU로 N×M 셀 순차 스위프 수행

정밀 전류 측정 및 보호
– PZ2100A의 10fA 분해능 및 고속 Compliance 보호 기능
– Cell 누설 및 Resistive Switching 특성 정밀 검출

유연한 소프트웨어 제어
– C++기반 GUI로 Row/Column 매트릭스 시각화
– 셀 클릭 선택 / 자동 시퀀스 / IV Curve Overlay 표시

고속 다중 측정
– Matrix Switching + SMU Sweep 병렬 제어로 전체 어레이 스캔 시간 단축
– 트리거 기반 시퀀스 동기화 (HW Trigger)

[A-View S/W]
다수의 셀 순차 측정 자동화 (N×M 어레이 지원)
C++기반 사용자 친화형 UI
실시간 Plot 및 통계 분석 지원
Excel / CSV / PDF Report 자동 생성

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