B1500A 반도체 디바이스 파라미터 분석기

최대 출력 범위 : 200V / 1A
최대 SMU 채널 : 10ch
커넥터 유형 : Active guard triaxial
최소 측정 해상도 : 0.1fA / 0.5uV
연결 방식 : GPIB, USB, LAN, VGA

최대 출력 범위

200V / 1A

최대 SMU 채널

10ch

커넥터 유형

Active guard triaxial

최소 측정 해상도

0.1fA / 0.5uV

연결 방식

GPIB, USB, LAN, VGA

주요특징

단일 반도체 파라미터 분석기로 여러 측정 장치 지원

키사이트 B1500A 반도체 파라미터 분석기는 IV, CV, 펄스/동적 IV 등을 지원하는 올인원 디바이스 특성화 분석기입니다. 메인프레임 및 플러그인 모듈은 대부분의 전자 디바이스는 물론 재료, 반도체 및 액티브/패시브 콤포넌트의 특성을 분석합니다. B1500A 반도체 파라미터 분석기 모듈러 아키텍처는 필요에 따라 업그레이드할 수 있는 유연성을 제공합니다.

케이블을 다시 연결하지 않고 CV 측정과 IV 측정 전환
종래의 다른 테스트 장치로는 불가능한 초고속 transient 현상 캡처
1 kHz ∼ 5 MHz 범위의 다중 주파수 AC 커패시턴스 측정값 감지
직관적인 15인치 터치 스크린 인터페이스를 사용하여 외부 PC 없이 데이터 분석.
박스 내 최대 10개 슬롯 구성의 측정 모듈을 선택하여 B1500A 구성.
직관적인 EasyEXPERT group+ 소프트웨어로 15인치 와이드 터치 스크린 지원.

제품사양

모듈 이름

슬롯

스펙

B1510A (HPSMU)

High Power Source / Monitor Unit

• 200V / 1A with 4사분면 출력

• 최소 10fA / 2uV 측정 분해능

• Spot, Sweep 측정 가능

• 100us 샘플링 (time domain)

• 최소 500us 펄스 폭

• 누설 전류 보정을 통한 정확한 QS- CV 측정

B1511B (MPSMU)

Medium Power Source / Monitor Unit

• 200V / 0.1A with 4사분면 출력

• 최소 10fA / 0.5uV 측정 분해능

• ASU 사용 시 최소 100aA 분해능

B1517A (HRSMU)

High Resolution Source / Monitor Unit

• 200V / 0.1A with 4사분면 출력

• 최소 1fA / 0.5uV 측정 분해능

• ASU 사용 시 최소 100aA 분해능

B1514A (MCSMU)

50us Pulse Medium Current Source / Monitor Unit

• 30V / 0.1A(Pulsed 1A) with 4사분면 출력

• 최소 10pA / 0.2uV 측정 분해능

• 50us 펄스폭에서 2us 분해능으로 측

• 오실로스코프 View (전압/전류 파형 View) 지원

B1520A (MFCMU)

Multi-frequency Capacitance Measurement Unit

• AC임피던스 측정 (C-V, C-f, C-t)

• 1kHz to 5MHz (최소 1mHz 분해능)

• 25V internal DC Bias / 100V DC Bias with SMU+SCUU)

B1525A (HV-SPGU)

High-Voltage Semiconductor Pulse Generator Unit

• ±40V의 고전압 출력

• 단일 채널을 통한 2-level & 3-level 펄스

• 10ns 분해능의 임의 파형 생성

• 모듈 당 2채널 지

B1530A (WGFMU)

Waveform Generator / Fast measurement Unit

• 10ns 분해능의 파형 생성

• 고속 I-V 동시 측정 가능 (200MSa/s, 5ns 샘플링)

• 10V peak to peak 출력

• NBTI / PBTI, RTN 등 초고속 IV 측정 기능

바로 사용이 가능한 어플리케이션 라이브러리

디바이스 유형	어플리케이션 테스트
CMOS 트랜지스터	Id-Vg, Id-Vd, Vth, 항복, 커패시턴스 및 QSCV
양극 트랜지스터	Ic-Vc, 다이오드, Gummel 플롯, 항복, 커패시턴스 등
별도 디바이스	Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc, 다이오드 등
메모리	Vth, 커패시턴스, 내구성 테스트
전력 디바이스	펄스형 Id-Vg, 펄스형 Id-Vd, 항복
나노 디바이스	저항, Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc
신뢰성 테스트	NBTI/PBTI, 차지 펌핑, 일렉트로마이그레이션, 핫 캐리어 주입, J-Ramp, TDDB 등

여기서 B1500A 어플리케이션에 대해 자세히 알아볼 수 있습니다.

EasyEXPERT group+의 강력한 기능

측정 기능	스테어케이스 스위프, 멀티채널 스위프, 펄스 스위프, IV 샘플링, 고속 IV 샘플링, CV, C-t, C-f 등
스위칭 매트릭스 제어	B2200, B2201 및 E5250(E5252 카드)이 지원됩니다.
분석 및 데이터 표시 기능	리스트-디스플레이, X-Y 그래프(마커와 커서 및 라인 포함), 자동 분석 기능, 사용자 기능 등
데이터 관리	사용자 작업 공간 관리, 자동 기록 기능을 사용한 측정 데이터와 설정 저장/불러오기

자세한 정보가 필요하면 키사이트의 정밀 전류-전압 분석기를 방문하십시오.

액세서리

모델	사양
N1301A	CMU Accessories for B1500A
N1301A-100	SMU CMU unify unit (SCUU)
N1301A-102	SMU CMU unify unit cable (3m)
N1301A-110	SMU CMU unify unit magnetic stand
N1301A-200	Guard switch unit (GSWU)
N1301A-201	Guard switch unit cable (1m)
N1301A-202	Guard switch unit cable (3m)
16494A-001	Triaxial Cable (1.5 m)
16494A-002	Triaxial Cable (3 m)
16494A-003	Triaxial Cable (4 m)
16494A-004	Triaxial Cable (1.5 m)
16494A-005	Triaxial Cable (1.5 m)
16493K-001	Kelvin Triaxial Cable (1.5 m)
16493K-002	Kelvin Triaxial Cable (3 m)
N1254A-108	ASU Magnetic Stand
16493L-001	GNDU Cable (1.5 m)
16493L-002	GNDU Cable (3 m)
16493L-003	GNDU Cable (5 m)
N1254A-100	GNDU to Kelvin adapter
16442B	Test fixture for packaged device

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전화번호

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031-360-4282

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